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硅片专用二氧化硅抛光液JSYAPG-GLANZOX
应用场景
硅片精密抛光、硅外延片、半导体晶圆***终抛光
硅片专用二氧化硅抛光液JSYAPG-GLANZOX
品牌：JSYA（吉圣雅） JSYAPG-GLANZOX 是硅片专用二氧化硅抛光液，以胶体二氧化硅为关键成分，面向硅片、晶圆及硅基材料的精密抛光，强调高平整、低损伤、稳定抛光与表面质量。
一、技术指标
项目 | 技术参数 |
产品型号 | JSYAPG-GLANZOX |
产品类型 | 硅片专用二氧化硅抛光液 |
主要成分 | 胶体二氧化硅 |
应用类型 | 硅片、晶圆、硅基材料、精密抛光 |
外观 | 浅色至半透明液体 |
pH | 碱性体系 |
介质 | 去离子水 |
稳定性 | 分散稳定，适合精密抛光 |
保质期 | 6 个月（密封避光，5–35℃储存） |
二、产品特点
1. 硅片专用配方 针对硅片、晶圆及硅基材料设计，适合精密抛光加工。
2. 胶体二氧化硅体系 以胶体二氧化硅为关键成分，有助于实现高平整表面。
3. 低损伤表面质量 有助于降低表面损伤，提升硅片表面加工质量。
4. 分散稳定性好 体系分散稳定，颗粒分布均匀，有利于加工过程的连续一致性。
5. 水基环保 无有机溶剂，低气味，操作环境友好。
三、典型应用场景
硅片精密抛光、硅外延片、半导体晶圆***终抛光
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