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钼钴铝CMP抛光液（Novus系列）JSYAPG-NOVUS
应用场景
钼金属CMP、钴互连CMP、铝互连CMP
钼/钴/铝CMP抛光液（Novus系列）JSYAPG-NOVUS
品牌：JSYA（吉圣雅） JSYAPG-NOVUS 是 Novus 系列钼 / 钴 / 铝 CMP 抛光液，面向钼、钴、铝及相关合金材料的化学机械抛光应用，强调稳定去除、平坦化能力、低损伤与精密加工表面质量。
一、技术指标
项目 | 技术参数 |
产品型号 | JSYAPG-NOVUS |
产品系列 | Novus |
产品类型 | 钼 / 钴 / 铝 CMP 抛光液 |
应用类型 | 钼、钴、铝、合金材料、化学机械抛光 |
外观 | 深色至灰黑色悬浮液 |
pH | 酸性体系 |
介质 | 去离子水 |
稳定性 | 分散稳定，适合 CMP 精密抛光 |
保质期 | 6 个月（密封避光，5–35℃储存） |
二、产品特点
1. 钼 / 钴 / 铝 CMP 专用配方 针对钼、钴、铝及相关合金材料的化学机械抛光应用设计。
2. 稳定去除能力 有助于实现较稳定的材料去除，满足精密平坦化加工需求。
3. 平坦化表现较好 面向化学机械抛光场景，有助于提升表面平坦化效果。
4. 低损伤表面质量 有助于降低表面损伤，提升加工后的精密表面质量。
5. 水基环保 无有机溶剂，低气味，操作环境友好。
三、典型应用场景
钼金属CMP、钴互连CMP、铝互连CMP
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