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Novaplane系列CMP抛光液JSYAPG-NOVA
应用场景
先进制程逻辑/存储芯片CMP、多品种平坦化
Novaplane系列CMP抛光液JSYAPG-NOVA
品牌：JSYA（吉圣雅） JSYAPG-NOVA 是 Novaplane 系列 CMP 抛光液，面向更广泛的化学机械抛光应用场景，可用于硅基材料、氧化层、绝缘层及相关薄膜结构的平坦化加工，强调体系稳定性与多场景工艺适配能力。
一、技术指标
项目 | 技术参数 |
产品型号 | JSYAPG-NOVA |
产品系列 | Novaplane 系列 |
产品类型 | CMP 抛光液 |
应用类型 | 硅基材料、氧化层、绝缘层、薄膜平坦化 |
外观 | 半透明至乳白色胶体液体 |
pH | 可按应用调整 |
介质 | 去离子水 |
稳定性 | 胶体分散稳定，适合 CMP 加工 |
保质期 | 6 个月（密封避光，5–35℃储存） |
二、产品特点
1. Novaplane 系列定位 属于 Novaplane 系列 CMP 抛光液，面向多场景化学机械抛光应用。
2. 胶体分散稳定 颗粒分散均匀，有助于降低团聚风险，维持抛光过程稳定。
3. 多场景适配 可用于硅基材料、氧化层、绝缘层及相关薄膜结构的平坦化加工。
4. 平坦化与表面质量兼顾 强调材料去除与表面质量控制，适合对平坦度有要求的精密加工。
5. 水基环保 无有机溶剂，低气味，操作环境友好。
三、典型应用场景
先进制程逻辑/存储芯片CMP、多品种平坦化
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